Användning av rostfria stålrör inom halvledarindustrin
Rostfria stålrör, särskilt sömlösa rostfria stålrör med hög renhet (316L, 316L EP, BA), är ett oumbärligt nyckelbasmaterial i halvledartillverkningsanläggningar (Fabs), som huvudsakligen utför uppgifterna att transportera ultrarena gaser, kemikalier och ultrarent vatten.
Tillverkning av halvledarchip är extremt känslig för kontaminering:
1. Partikelföroreningar
2. Metallförorening
3. Fuktföroreningar
4. Kontaminering med organiskt material (TOC)
Även föroreningar på nanometernivå kan leda till fel på hela skivan.
Därför måste transportsystemet ha:
1.Ultrahög renhet
2.Extremt låga utsläpp av föroreningar
3. Korrosionsbeständighet
4.Ingen partikelbildning
5.Förmågan till långsiktigt stabilt arbete
Och elektropolerade (EP) 316L rostfria stålrör är nu den vanliga lösningen.
Huvudsakliga tillämpningsscenarier:
1. Specialsystem för gasförsörjning
2. Ultrarent vattensystem
3. Kemikalieförsörjningssystem
4. Vakuumsystem
Standarder för rostfria rör som används i stor utsträckning inom halvledarindustrin
| Namn | Standard |
| Material | 316L |
| Standard | ASTM A269 |
| Ultrahög renhetsstandard | SEMI F20 |
| Ytbehandling | B.A., E.P. |
| Strävhet | Ra ≤ 0,25 um |
| Svetsmetod | Orbitalsvetsning |
| Renlighetsklass | Klass 100 / ISO 5 |
Austenitiskt rostfritt stål (austenitiskt rostfritt stål) på grund av dess utmärkta korrosion...
Kemisk sammansättning av rostfritt stål Stålkvalitet C Si Mn P S Cr Ni Mo Ti SUS304 ≤0,08 ≤1,00 ≤...
Inom bilindustrin: 1. Applikationsscenarier: Vid tillämpning i sådana nyckel...
Rostfritt stålrör för medicinsk skärare Skärhuvud (skärdel): tillverkat av rostfritt stål...
Kärna i rostfritt stål för kraftbatterier Syfte: Inom kraftområdet...
Nål i rostfritt stål är en tunnväggig kapillärnål med hög precision. Syfte: Är huvud...
Specialrör för häftapparat Syfte: Den viktigaste komponenten i tubulär medicinsk...
Kemisk sammansättning av rostfritt stål Stålkvalitet C Si Mn P S Cr Ni Mo Ti SUS304 ≤0,08 ≤1,00 ≤...
Rör för att sätta in ett endoskop (styvt endoskop) Syfte: Endoskopets huvuddel, inuti...
Kapillärrör med tjock vägg - Tillämpningar: Instrumentationsscenarier...
Kemisk sammansättning av rostfritt stål Stålkvalitet C Si Mn P S Cr Ni Mo Ti SUS304 ≤0,08 ≤1,00 ≤...
Kemisk sammansättning av rostfritt stål Stålkvalitet C Si Mn P S Cr Ni Mo Ti SUS304 ≤0,08 ≤1,00 ≤...
Rostfria rörkomponenter för ultraljudskirurgisk hemostatisk skalpell...
Kemisk sammansättning av rostfritt stål Stålkvalitet C Si Mn P S Cr Ni Mo Ti SUS304 ≤0,08 ≤1,00 ≤...
